Naprašovacia terča sa týka naprašovacieho zdroja, ktorý je naprašovaný a nanesený na substrát za vhodných procesných podmienok magnetrónovým naprašovaním, viacoblúkovým iónovým pokovovaním alebo inými typmi poťahovacieho zariadenia, aby sa vytvorili rôzne funkčné filmy. Podľa zloženia možno terče rozdeliť na terče z čistého kovu, zliatinové terče, oxidové terče, silicidové terče atď.; podľa tvaru ich možno rozdeliť na terče plošné (obdĺžnikové terče a oblúkové terče) a trubicové terče. . Naprašovacie terče sa široko používajú v mnohých oblastiach, ako sú dekorácie, nástroje a formy, sklo, elektronické zariadenia, polovodiče, magnetický záznam, ploché displeje, solárne články atď. Rôzne polia vyžadujú rôzne materiály terčov.
1. Dekoratívny náter
Dekoratívny náter sa týka najmä povrchového náteru mobilných telefónov, hodiniek, okuliarov, sanitárnej keramiky, hardvérových dielov a iných produktov. Nehrá úlohu len pri skrášľovaní farby, ale má aj odolnosť proti opotrebeniu, korózii a ďalšie funkcie. Medzi hlavné druhy terčov pre dekoratívne nátery patria: chrómový terč, titánový terč, zirkónový terč, niklový terč, volfrámový terč, titánovo-hliníkový terč, terč z nehrdzavejúcej ocele atď.
2. Povlakovanie spracovateľských foriem alebo nástrojov
Používa sa hlavne na povrchové spevnenie nástrojov a foriem, čím sa môže výrazne zlepšiť životnosť nástrojov a foriem a kvalita spracovávaných dielov. V posledných rokoch, poháňané rozvojom leteckého a automobilového priemyslu, technická úroveň a efektívnosť výroby globálneho výrobného priemyslu zaznamenali veľký pokrok a dopyt po vysokovýkonných rezných nástrojoch a formách sa každým dňom zvyšuje. Medzi hlavné typy terčov používaných na poťahovanie foriem patria: titánovo-hliníkové terče, chrómové terče, titánové terče atď.
3. Sklenený povlak
Aplikácia cieľových materiálov na sklo je hlavne na výrobu skla s nízkym žiarením, ktoré využíva princíp magnetrónového naprašovania na naprašovanie viacerých vrstiev tenkých vrstiev na sklo, aby sa dosiahli funkcie úspory energie, kontroly svetla a dekorácie. Medzi hlavné typy terčov patria: strieborný terč, chrómový terč, titánový terč, nikel-chrómový terč, kremíkovo-hliníkový terč, terč z oxidu titaničitého a pod. Ďalšou dôležitou aplikáciou terčových materiálov na sklo je príprava spätných zrkadiel automobilov, hlavne chrómu. terče, hliníkové terče, terče z oxidu titánu atď. Keďže požiadavky na kvalitu spätných zrkadiel do automobilov sa neustále zvyšujú, mnohé spoločnosti prešli z pôvodného procesu pokovovania hliníkom na proces pochrómovania vákuovým naprašovaním.
4. Povlak elektronického zariadenia
Povlaky elektronických zariadení sa používajú hlavne na tenkovrstvové rezistory a tenkovrstvové kondenzátory. Terčové materiály pre tenkovrstvové rezistory zahŕňajú NiCr terč, terč z niklu a chrómu kremíka (NiCrSi), terč z chrómu a kremíka (CrSi), terč z tantalu (Ta), terč z niklu a chrómu hliníka (NiCrA1) atď.
5. Povrchová úprava plochého displeja
Rýchly rast dopytu po zariadeniach s plochým panelom z prenosných osobných počítačov, televízorov, mobilných telefónov atď. výrazne podporil vývoj rôznych typov zariadení s plochým panelom. Jeho typy zahŕňajú: zobrazovacie zariadenie s tekutými kryštálmi (LCD), plazmové zobrazovacie zariadenie (PDP) atď. Všetky tieto zobrazovacie zariadenia s plochým panelom používajú rôzne typy filmov. Bez technológie tenkých vrstiev by neexistovali žiadne ploché zobrazovacie zariadenia. Aby sa zabezpečila rovnomernosť veľkoplošných náterov, zlepšila sa produktivita a znížili náklady, na prípravu týchto náterov sa čoraz viac používa technológia naprašovania. Medzi hlavné typy terčov používaných na poťahovanie plochých displejov patria: chrómové terče, molybdénové terče, terče z hliníkovej zliatiny, medené terče atď.
6. Povlak polovodičov
Rýchly rozvoj informačných technológií si vyžaduje, aby boli integrované obvody čoraz viac integrované. Každé jednotkové zariadenie sa skladá zo substrátu, izolačnej vrstvy, dielektrickej vrstvy, vodivej vrstvy a ochrannej vrstvy. Medzi nimi dielektrická vrstva, vodivá vrstva a dokonca aj ochranná vrstva Používa sa proces naprašovania, takže terč naprašovania je jedným zo základných materiálov na prípravu integrovaných obvodov. Terčové materiály na poťahovanie polovodičov vyžadujú vysokú čistotu terča, vo všeobecnosti nad 4N alebo 5N. Medzi hlavné odrody patria volfrám-titánové, titánové terče, hliníkové terče a medené terče.
